ロジック半導体の量産化に協力

大阪大学の森勇介教授（名古屋大学教授を兼務）は３０年前に「ＣＬＢＯ結晶」を開発した。同結晶は紫外レーザーの波長変換 子として、今や次世代半導体の製 に用いる極端紫外線（ＥＵＶ）露光の前工程と後工程に必 の 材 。「産業の“川上”に位置する結晶」（森教授）となっている。

ＣＬＢＯはセシウ 、リチウ 、ホウ 、酸 による化合物の結晶。これに通すと世界最高出力の紫外レーザーが発生する。半導体からレーザーの 究室に移り、両分野の技術を融合したことで運良く発見した。

国家プロジェクトで三菱電機と共同 究し、波長２６６ナノメートル（ナノは１０億分の１）の紫外レーザーの高出力化に成功。結晶は実用化され、半導体マスク検査装置などに使われている。

また、米半導体製 装置大手ＫＬＡから熱烈なオファーを受けて協業したのを機に、２０１６年に創晶超光（大阪府交野市）を創業した。

「結晶を高品質化できるならいくらでも投じる」とのＫＬＡの姿勢に「世界一を目指すには、失敗を恐れず先行投資することが重要」 と学ん 。不良品が出ないよう万全を期す日本的手法にも良い面はあるが、「イノベーションを生み出し、市 を独 できなければ半導体産業では生き残れない」と心得る。

ＩｏＴ（モノのインターネット）技術の世界的な奪い合いにより、「半導体は永 に進化する」と見る。現在、ラピダス（東京都千代田区）との連携を視野にロジック半導体の量産化に協力するほか、パワー半導体向けの高品質な窒化ガリウ の結晶でも産業に貢献している。（随時掲載）

【関連記事】　世界の半導体工 で、揺るぎない信 を集めるクリーン搬送装置